转让二手光学镀膜机

　　台湾龙翩机1400配置表

　　机械泵 美国凯尼真空泵

　　罗茨泵 德国普发罗茨泵2000A

　　电子枪 日本PLASMATECH1 OKW

　　POLYCOLD 美国POLYCOLD

　　离子源 美国KRI考夫曼离子源

　　加热系统 上烘烤电加热丝

　　气体流量 三路美国布鲁克斯流量计

　　晶控膜厚仪美国英福康SQM-160

　　全自动—键操作系统,每炉产品参数带记忆储存功能

　　韩国2050光学机配置表

　　机械泵 英国爱德华275

　　罗茨泵 英国爱德华EH2600

　　扩散泵 韩国双800

　　膜厚仪 美国英福康IC-5

　　电子枪 日本原装JEOL双枪(目前单枪)

　　离子源 韩国霍尔源

　　深冷 韩国

　　台湾龙翩机1200配置表

　　机械泵 英国爱德华275

　　罗茨泵 英国爱德华2600

　　电子枪 日本PLASMATECH10KW

　　POLYCOLD 美国POLYCOLD

　　离子源 美国KRI考夫曼离子源

　　加热系统 下加热灯管加热

　　气体流量 三路美国布鲁克斯流量计

　　晶控膜厚仪 美国英福康SQM-160

　　全自动一键操作系统，每炉产品参数带记忆储存功能

　　产品名:OTFC- -1550DBI型式:1500DBI

　　1.产品参数:

　　真空室中1550 X 1800mm(H)

　　工件架φ1400mm工件架转速10rpm to 30rpm (可变)

　　光学膜厚控制HOM2- R-VIS350A

　　波长范围:350nm to 1100nm光学膜厚监控仪反射式/透射式

　　水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器

　　蒸发源电子枪2套

　　离子源17cmRF离子源

　　机械泵:排气系统2个扩散泵Polycold(或2个冷凝泵)

　　2.性能:达到压力7.0X10-5Pa以下排气时间20分(大气压,1.3X10- 3Pa)基板温度:350

　　3.工作条件:约5500mn(W) X 7200mm()X设备尺寸3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,电源约120KVA水流量180升/分以上 空气压力0. 5MPa以上

　　重量约11000kg