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| 型号 |
Triton 40 |
类型 |
清洗 |
| 加工定制 |
否 |
用途 |
等离子清洗 |
| 电源 |
N |
功率 |
N |
| 外形尺寸 |
N |
重量 |
N |
| 产地 |
中国 |
货号 |
N |
| 是否跨境货源 |
否 |
别名 |
等离子处理系统 |
| 规格 |
N |
厂家 |
螣芯科技 |
应用领域
表面清洁与活化
材料表面有机污染物的去处
去处纳米级金属氧化层
增强表面胶体流动性，消除涂层、塑封料的分层
提升表面能，实现难粘材料的有效结合
表面粗化与微蚀：消除表面应力，使材料更易结合。
表面粗化及微刻蚀
纳米级表面粗化，应力释放。
光刻胶去除
对多种材料的选择性刻蚀
设备特点
设计紧凑的桌面型等离子工艺平台，易于与厂务端连接
可靠的腔体结构设计，确保工艺腔体具备一流的气密性与耐用性
优秀的进气、排气设计，保证工艺过程的均匀性
支持多种电极形式与最多4路工艺气体，适用于处理各种产品并适应多种工艺要求
直观的图形控制界面，通过触屏可实时观察、控制工艺过程
13.56MHz射频电源与自动匹配系统，具有优异的稳定性和可重复性
Triton40 标准技术规格
| 设备尺寸 | 宽*深*高 | 635W x 860D x 690H mm |
| 腔体 | 尺寸 | 340W x 456D x 280H mm |
| 容积 | 43L | |
| 电极数量可达 | 4 | |
| 电极间距 | 57mm | |
| 电极 | 功率电极尺寸 | 226W x 320D mm |
| 接地电极尺寸 | 1300W x 320D mm | |
| 射频系统 | 射频功率及频率 | 300W/13.56MHz |
| 气体控制 | 气路配置 | 标配两路 / 最多可扩充至4路气体 |
| 真空泵 | 标准配置 | 25m3/h 油泵 |
| 厂务要求 | 供电要求 | 220V, 10A, 50Hz, Single-Phase, 13AWG, 3-Wire |
| 工艺气体接口及尺寸 | 1/4英寸卡套接口 | |
| 工艺气体种类及纯度 | CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%; N2 = 99.99%; Ar = 99.999%; 其余气体请咨询JETPLASMA
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| 工艺气体压力 | 15~20 psig | |
| 吹扫气体接口及尺寸 | 1/4英寸卡套接口 | |
| 吹扫气体种类及纯度 | N2=99.99% | |
| 吹扫气体压力 | 15-60 psig | |
| 气动用接口及尺寸 | 1/4英寸卡套接口 | |
| 气动用气体及压力 | CDA, 60~90 psig | |
| 排气口接口及尺寸 | KF25 | |
| 环境温度 | 5~40℃ | |
| 相对湿度 | 40~60% |
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