联系人：谭冬平
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电话：19159127537
地址： 安徽合肥市肥西县合肥市高新区创新大道与明珠大道交叉口明珠产业园3#厂房A区2楼
| 型号 |
JQ/KNO-90 |
类型 |
高温烘箱 |
| 温度范围 |
JQ/KNO-90 |
外形尺寸 |
W1360×H1020×D835 mm |
| 适用范围 |
晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺 |
主要用途 |
预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力 |
氮气高温烘箱特点：
1.外壁材料采用双面镀锌钢板，表面喷塑处理；内壁材料：SUS不锈钢板；箱体保温材料：玻璃纤维；门保温材料：玻璃纤维。
2.室内空间设置样品架支撑调节分度架，在分度架上设置卡槽，样品架可轻放入和取出，托盘采用不绣钢材料，承重≥10KG/层，分别支持4寸晶圆25片，6寸晶圆25片。
3.烘箱后壁开设一个氮气接口，可以外接氮气，使箱内处于厌氧状态。
4.具有带电池保护的RAM,可保存设备的设定值、采样值及采样时刻的时间；曲线记录周期可设定1S～120sec，记忆时间储存连续存储720天历史曲线,历史数据(当采样时间为2min), 无连续使用时，数据可以保存长达10年以上。
5.故障报警及原因、处理提示功能；断电保护功能；上下限温度保护功能；定时功能(自动启动及自动停止运行)、自诊断。
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