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日本azbil山武CMS气体质量流量计
品牌：yamatake/山武(成立于1906年)
型号：CMS系列
类型：气体质量流量计
测量范围：2mL-2000L/min（可选）
精度等级：±2%RD
适用介质：空气/氮气/氧气/氩气/氢气/氦气/氨气/二氧化碳/城市煤气13A/甲烷/丙烷/丁烷/乙炔（不含腐蚀性成分）
耐压：1.5MPa
工作温度：-10~+60℃
山武CMS是一种气体质量流量计，使用了山武公司研发的微流量传感器μF单元。这一传感器是一个芯片型感热式质量流量传感器，直接安装于流体管路中，可以测量低流速的流体流量，使CMS具有100:1的测量比。微流量传感器芯片与先进的流体管路设计的结合，使该仪表测量精度高、量程比大，且成本低。
特点：
1：由于采用直接质量流量测量，因此实现了不受温度、压力变动影响的准确测量；
2：实现了±2%RD的精度，0.5%FS的重复性、100:1的高量程能力；
3：CMS具有瞬时、累计流量显示、模拟输出、累计脉冲输出、事件输出2点、模拟输出定标功能以及RS-485通信功能；
4：采用山武公司的管内壁测量方式，实现了500PA（CMS200一次压力49KPA）的低压力损失。
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