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| 型号 |
FS1015L |
输出信号 |
模拟型 |
| 制作工艺 |
集成 |
测量介质 |
气体 |
（矽翔公司，Siargo Ltd）成立于2003年，总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件一MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发，可用于各类气体及微流体的流量计量和测控，为传统的流体计量带来了根本性变革，提供了全新的拓展空间。
矽翔公司基于MEMS技术的流量芯片广泛应用于医疗麻醉与呼吸设备，医院中心供氧、制氧设备、分床计费系统，工业制造业用气测量及过程控制，环保行业大气监测及分析，食品饮料加工，科学气体分析仪器，楼宇自控，民用健身与保健设备，汽车车载电子与汽车生产工艺控制，农林渔业养殖等领域；在全新的燃料电池等科技领域亦有不可替代的应用.目前产品已销售到美国、加拿大、日本、韩国、欧洲、南美、大洋洲、东南亚、中东等多个国家和地区.
常用系列有：FS1015CL系列气体流量传感器、FS4001系列气体流量传感器、FS4003/08系列气体流量传感器、MF4000系列气体质量流量计、LF2000系列液体质量流量传感器等
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