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| 型号 |
Hicube RGA |
测量范围 |
质量数1-300 |
| 测量对象 |
气体定性定量分析 |
产地 |
德国 |
| 厂家 |
德国 Pfeiffer |
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残余气体分析仪 Hicube RGA, 价格货期电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的完美搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.
残余气体分析仪 Hicube RGA 优势
残余气体分析和氦气泄漏检测模式
可用于从大气压至高真空环境
高分辨率和灵敏度
通过真空压力监测保护灯丝
进气系统带集成式切断阀
Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格
| 涡轮分子泵组
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HiCube? Eco
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功耗
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170W
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电压（范围）
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110 - 240 V; 50 / 60 Hz
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氮气抽速
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67 l/s
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前级泵在 50 Hz 时的泵送速度
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1 m3/h
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极限真空
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<1X10-7 hPa
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真空计
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PKR 361
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测量范围
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1X10-9 至 1X103 hPa
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阀门
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EVN 116
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气体流量
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可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s
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进气口
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DN 16 ISO-KF
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残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用
残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的最终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.
泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.
过程监控: HiCube RGA 可以在 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更高级别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.
质量保证和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.
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