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| 型号 |
SPM 220 |
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镀膜工艺气体分析仪 SPM 220
上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.
镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 优势
用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的优秀检测限
对测量结果的最小化背景影响
提供压力高达 10 hPa 的压差型号
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
灵活集成的紧凑尺寸
通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活
镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成：涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势：
镀膜工艺监测器离子源，适用于瞬时过程监测
对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
对测量结果的最小化背景影响
压力高达 10 hPa 的压差版本
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
紧凑设计，易于系统集成
通过各种数字和模拟输入和输出
Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数：
| SPM 系统控制
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BRU 220
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电压
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115-230 V
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前级泵
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MVP 020-3
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四极控制
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QME 220
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带 SPM 离子源的分析仪
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QMA 220
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探测器
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C-SEM/Faraday
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杆系统：材料
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不锈钢
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杆系统：直径
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6 mm
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杆系统：长度
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100 mm
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检测极限（氩中）：二氧化碳
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< 100 ppb
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检测极限（氩中）：氧气
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< 100 ppb
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检测极限（氩中）：氮
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< 100 ppb
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检测极限（氩中）：水
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< 3000 ppb
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检测极限（氩中）：水蒸气
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< 500 ppb or < 6000 ppb
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涡轮分子泵
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带有 TC 110 RS 的 HiPace 80
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质量数
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1-100 amu or 1-200 amu
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过程压力至
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1 hPa or 10 hPa or 8hPa
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连接法兰（入口）
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DN 40 CF-F
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重量
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13 kg
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