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地址： 天津南开区南开区三潭路2号205（科技园）
| 品牌 |
美华科技 |
型号 |
MH-EP800 |
| 货号 |
105 |
类型 |
机电设备 |
| 材质 |
铝镁合金不锈钢 |
产品用途 |
该设备主要用于晶圆划切后的晶粒间距扩张工序。 |
| 加工定制 |
是 |
外形尺寸 |
长*宽*高 ( 755*798*850)mm |
| 产品规格 |
8寸 12寸 |
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设备用途：该设备主要用于晶圆划切后的晶粒间距扩张工序。
作业机理：在马达匀速抬高过程中利用胶膜的延展性实现晶粒间距的扩张。
功能描述：
1.该设备半自动扩膜机型
2.工件传递为手动取放方式
3.扩膜完毕自动切除废膜，并自动回收
4.工作台自动加热，胶膜扩张均匀平整
| MH-EP800扩膜机技术规格
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设备规格（CHUCK TABLE）
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8英寸（可扩展至12英寸）
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扩膜方式
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伺服马达控制
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扩膜效率
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15±3sec /pc
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马达抬升速度
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1-10MM/S
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扩张范围
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<=晶圆直径的1.5倍
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扩膜高度
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10-70mm；
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扩膜偏差
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<=3毫米(排除贴膜时，晶圆放置的偏差）
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胶膜类型
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延展性较好的蓝膜、PVC材质的膜
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扩晶环尺寸
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8英寸（可扩展到12英寸）
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胶膜厚度
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0.05-0.2mm
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工件取放
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手动取放
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加热范围
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室温-120℃（可调）
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切断方式
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自动仿形切断
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供电
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AC220 V；50/60 Hz；10A 功率：0.5KW
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供气
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0.5-0.7MPa干燥压缩空气 流量：2立方英尺/分钟 8mm气管
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净重
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80kg
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外形尺寸
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57cmX80cmX142cm
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使用环境
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10~35摄氏度 35~85%RH
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主要配置：
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7寸触摸屏/PLC/交流伺服马达/温控仪等
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