联系人：李子奇
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| 型号 |
MH-AI60 |
用途 |
表面不平整的3D尺寸测量及3D外观缺陷检测平台 |
| 测量范围 |
依产品定制 |
外形尺寸 |
长*宽*高 ( 480*358*530)mm |
| 重量 |
30 |
厂家 |
美华科技 |
功能：
可创建任意区域的3D图像；
可测量样品的长度，宽度，角度，深度, 台阶高度等尺寸数据；
针对曲面样品的自动校准展开功能；
基于深度学习的智能检测方法；
主要技术参数:
- XY全自动扫描范围：200×200（mm）
- 扫描速度：20mm/s
- Z方向测量范围：<=30mm
- Z方向测量分辨率：>=2nm
产品应用：
MEMS、半导体材料、太阳能等。
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