| 型号 |
HF-RS |
传热方式 |
辐射式电阻炉 |
| 热工制度 |
间歇式炉 |
炉型结构 |
管式炉 |
| 输送形式 |
推杆式炉 |
控制形式 |
工艺过程控制炉 |
| 主要用途 |
工业电炉 |
最大电压 |
380 |
氧化亚硅真空升华炉是鸿峰窑炉自主设计、制造的应用于氧化亚硅材料制备的专用装备。
设备特点:
(1)生产方式:周期式生产
(2)加热区尺寸:加热区总长1000mm,直径φ400mm
(3)装填量:约100L
(4)收集区尺寸:长度300mm ,直径约φ400mm
(5)使用功率:加热功率30Kw(其中真空泵1.5KW)
(6)额定电压:380V50HZ
(7)设计温度:RT~1350℃
(8)测温点:一个
(9)控温区数:一区
(10)温控精度:≤±2℃
(11)冷态极限真空度:≤100Pa(烘炉除气后且为空炉和冷态)
(12)设备外形尺寸:L2610×W1000×H1750(mm)(以最终制造为准)