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| 型号 |
GPI-X |
光源 |
钨灯 |
| 加工定制 |
否 |
厂家 |
美国ZYGO |
二手美国ZYGO带软件激光干涉仪介绍
美国 ZYGO 带软件激光干涉仪是一种高精度的光学测量仪器，广泛应用于光学元件制造、半导体制造、航空航天等领域。以下是其相关介绍：
主要型号及特点
Qualifire?系列是 ZYGO 公司 2024 年发布的新一代激光干涉仪，具有轻量化设计，重量不到 23 千克，便于搬运。该系列仪器配备飞点模块，具有环纹抑制功能，可消除腔体中相干空间噪点和牛眼纹，提供高信噪比的高精度测量。此外，还具备平面腔自动对焦、稳定变焦等功能，并且内置移相器，提高了仪器的稳定性和易用性。
DynaFiz® 系列：是业内性能最强的动态干涉仪，采用专利技术，可在振动频繁的环境中进行可靠的干涉测量。其高光效光学设计与高功率 HeNe 激光源相结合，可在高摄像机快门速度下运行，“冻结” 振动。该系列干涉仪具有 QPSI?技术、DynaPhase?瞬时数据采集技术等，对振动不敏感，可在最恶劣的环境中进行测量。
Verifire?系列：是用于表面形状计量的理想干涉仪，有多种孔径可供选择，包括大孔径型号如 Verifire? XL，可用于测试精密窗口、反射镜等大尺寸光学器件的平面。该系列干涉仪可搭配扩束器，提供业内最全面、精度的扩束器和大型参考光学器件。
配套软件
Mx?软件：是 ZYGO 激光干涉仪的配套软件，拥有完整的系统控制和数据分析功能。其基于工作流程的设计可指导用户完成从设置到分析和生成报告的计量过程。软件支持交互式三维图、定量相位数据显示，以及 Zernike 分析、斜率分析、PSD 视图等多种分析功能。此外，还内置统计过程控制（SPC）工具，可跟踪结果、监控合格 / 不合格标准，并生成数据报告和运行图。
应用领域
半导体和光刻：可用于测量半导体芯片制造中的光刻机微晶工件台、大尺寸二维光栅及其基板等的平面面形，确保半导体制造的高精度要求。
航空航天：在航天工业中可对涡轮叶片表面粗糙度等进行检测，快速准确地获得表面的微观形貌信息，保证航空航天部件的质量和性能。
光学元件制造：用于光学元件的表面形貌分析、波前误差测量等，帮助制造商确保光学元件的质量，如镜头组件的测试和对准等。
二手美国ZYGO带软件激光干涉仪照片
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