联系人：王艳萍
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电话：13829274046
地址： 广东东莞市莞城区增步村卢屋东城慧美工业园
| 型号 |
1550MM |
控制形式 |
数控 |
| 精密程度 |
高精度 |
自动程度 |
自动 |
| 传动方式 |
气压传动 |
设备生产产地 |
日本 |
| 设备所在地 |
广东 |
主电机功率 |
220 |
| 最大磨削尺寸 |
1550 |
加工精度 |
高精度 |
| 工作台尺寸 |
1500 |
产品数量 |
20台 |
| 重量 |
6000 |
外形尺寸 |
5500mn(W) X 3200mm()X3600mm(H) |
| 厂家 |
光驰 |
|
二手日本光驰半导体行业 晶圆片 光学玻璃磁控溅射镀膜机owls-1800介绍
光驰 OWLS - 1800 是面向半导体光学器件的水平金属模式磁控溅射镀膜机，主打 12 英寸晶圆量产，支持同步双面 / 低温沉积，兼容 SEMI 标准与 EFEM，适合高精度低吸收薄膜制备光驰科技(上海)有限公司。以下是核心参数与关键信息：一、核心定位与优势
应用场景：半导体光学器件（如车载传感器、光学元件）的 12 英寸及以下晶圆镀膜，可实现同步双面沉积、低温成膜，满足低吸收膜层需求。
核心亮点
真空机械手臂传输，清洁高效，适配 EFEM，符合 SEMI 标准株式会社オプトラン。
最多 3 组双旋转圆柱阴极，搭配 ICP 高反应性等离子体源，保障膜层均匀性与低吸收特性光驰科技(上海)有限公司。
滚筒式基板架（φ1800mm），转速 10-100rpm 可调，最多装载 10 片 12 英寸晶圆光驰科技(上海)有限公司。
可选光学膜厚监控仪，适配高精度多层膜制备株式会社オプトラン。
二、详细规格参数
| 类别 | 具体参数 |
|---|---|
| 真空腔体 | 装片室（LL）：820mm（W）×1455mm（H）×740mm（D）；运送室（TR）：1070mm（W）×480mm（H）×1070mm（D）；工艺室（PR）：2540mm（W）×745mm（H）×2285mm（D）光驰科技(上海)有限公司 |
| 基板系统 | 12 英寸晶圆，10 片装载量；滚筒式旋转，10-100rpm 可调光驰科技(上海)有限公司 |
| 溅射与反应源 | 最多 3 组双旋转圆柱阴极（可选平面靶）；ICP 感应耦合等离子体源光驰科技(上海)有限公司 |
| 真空系统 | 粗抽泵 + 分子泵 + 冷阱；工艺室极限真空可达超高真空量级光驰科技(上海)有限公司 |
| 扩展能力 | 可选光学膜厚监控仪、双面沉积模块（OWLS - 1800D） |
二手日本光驰半导体行业 晶圆片 光学玻璃磁控溅射镀膜机owls-1800照片
公司拥有强大的技术团队，为了更好地服务于广大用户，公司提供售前的技术咨询、设备选型、解决方案，从型号的选型规划中已确保产品的质量性能、供货时间、可上门安装调试及保修费用另计算、保修期外的技术支持、维修维护和技术培训做出如下的规划：
1、保修服务: 机械从调试合格之日起,保修一年,保修期内产品损坏非人为所致的免费修理.(注:易损件不在保修范围内)
2、调试服务:由供方负责派员去现场调试、培训等内容，经调试合格后由需方出具验收报告.
3、安装服务:供需双方友好协作.供方派技术人员前往安装,调试.保证设备的正常运行使用.
我司长期上门回收/出售/出租真空镀膜机磁控溅射电镀机 光学镀膜线蒸发镀膜设备多弧电镀机 设备估价 设备安装拆除另外高价回收二手光学设备欢迎咨询。大量承接AF，增透，反射，分光、舞台灯、滤光片、手机盖板、手机保护片等镀膜订单。可加工的材料包括：PP、PC、PVC、ABS、PS、尼龙、金属、波丽、玻璃、陶瓷、TPU等。
镀制效果有：普通电镀亮面、哑面（半哑、全哑）、工艺电镀皱纹、拉丝、雨滴、七彩等镀制颜色有：金、银、红、蓝、绿、紫、七彩等等。
公司有多种进口品牌真空电镀膜机（日本光弛OTFC-1300/1550/1800,龙翩1400/1650/2050，韩一1300/1600/2050)出售租凭卖买业务
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