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| 型号 |
SSGM |
用途 |
稀释气体的不同浓度 |
| 测量范围 |
5sccm——30slm |
外形尺寸 |
450 |
| 重量 |
5.8 |
厂家 |
成都松盛测控 |
组合式配气系统SSGM产品优势：
1、装置内部管线采用BA级不锈钢管和卡套相连接，具有非常好的密封性，整套装置的泄漏率低于：1*10-9，可适用于高纯及超高纯气体稀释；
2、装置稀释范围大，稀释可调比例达2500倍；
3、节省载气，浓度稀释的种类广泛，进行高倍数稀释；
4、运用场景多样，适合多种不同场景的仪器使用。
SSGM系列的仪器根据用户所提参数要求，选用相对应的高精度气体质量流量控制单元；产品内部钢管、过滤器、单向阀等机械连接，均采用316L不锈钢材质；触摸屏界面可直观显示混气过程及流量、压力数据，气路多个通道别有电磁阀，并联连接，在触摸屏上控制其打开、关闭；设备可设定混合气体出口流量与气体的混合浓度。
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