热丝CVD金刚石设备

　　研发设计制造了热丝CVD金刚石设备，分为实验型设备和生产型设备两类。

　　设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜、硬质合金刚石涂层刀具、陶瓷轴承内孔镀金刚石薄膜等。例如可用于生产制造环保领域污水处理用的耐腐蚀金刚石导电电极。

　　可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。

　　平面工作尺寸

　　圆形平面工作的尺寸：φ650mm。

　　矩形工作尺寸的宽度600mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1200mm）。

　　配置冷水样品台。

　　热丝电源功率

　　可达300KW，1KW ～300KW可调（可根据用户工艺需求配置功率范围）

　　设备安全性

　　-电力系统的检测与保护

　　-设置真空检测与报警保护功能

　　-冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护

　　-设置水压检测与报警保护装置

　　-设置水流检测报警装置

　　设备构成

　　真空室构成

　　双层水冷结构，立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩形,前后开门，真空尺寸,根据工件尺寸和数量确定。

　　热丝

　　热丝材料：钽丝、或钨丝

　　热丝温度：1800℃～ 2500℃ 可调

　　样品台

　　可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ，由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距在5 ～ 100mm范围内可调），要求升降平稳,上下波动不大于0.1mm。

　　工作气路（CVD）

　　工作气路根据用户工艺要求配置：

　　下面气体配置是某一用户的配置案例。

　　H2(5000sccm，浓度100%)

　　CH4(200sccm，浓度100%)

　　B2H6（50sccm，H2浓度99%）

　　Ar(1000sccm，浓度100%)

　　真空获得及测量系统

　　控制系统及软件

　　实验型 热丝CVD金刚石设备

　　单面热丝CVD金刚石设备

　　双面热丝CVD金刚石设备

　　生产型热丝CVD金刚石设备

　　可制备金刚石面积-宽650*1200mm

　　可制备金刚石φ 650mm