AD12手动显影机苏斯微SUSS MicroTec

　　代理德国苏斯微SUSS MicroTec喷墨打印机、涂胶机与显影机、光刻机、贴片机、俺膜机

　　AD12手动显影机苏斯微SUSS MicroTec

　　AD12手动显影机苏斯微SUSS MicroTec

　　详询请致电：吴工 132，4667.5433

　　12英寸喷淋显影系统

　　AD12系统可以满足所有的喷淋显影技术的需求，可用于直径12英寸的圆片和9英寸×9英寸的方形基片和掩模。也可以选装晶圆清洗模块。

　　亮点：

　　凭借多样的喷液技术，在工艺通用性方面表现出色

　　专为水基工艺而设计

　　高安全性标准

　　介绍：

　　一、的灵活性

　　AD12通过使用优化的卡盘能够处理许多不同种类的基材，从而展示了其多功能性。即使是脆弱的基材（如InP、GaAs）也能被安全地处理。特殊的工具和广泛的易于调整的工艺参数使AD12适用于许多涉及水介质的工艺应用。由于能够对参数进行编程，如步进时间、旋转速度、加速和减速、点胶臂位置和旋转运动，该系统可以优化工艺流程，从而获得可重复的、稳定的工艺结果。AD12配备了SUSS MicroTec公司先进的点胶技术，有效地支持开发和清洗。

　　二、复杂的喷点技术

　　AD12为不同的工艺需求提供了广泛的喷点技术。可以运行多种工艺：从简单的水坑或喷雾显影，到需要浸泡和冲洗的水坑点胶，再到需要高压将抗蚀剂和金属升起的升华。上述所有的喷点技术都可以在AD12的喷点臂上配置。

　　三、智能溶剂型介质系统

　　AD12是为处理水基介质的特殊需求而定制的。所有与工艺化学品接触的部件都由不易受影响的材料制成。排水口可以连接到室内排水口或废物罐。

　　介质被安全地储存在配备有排气接口的介质库中，并由渗漏检测器加以保护。流量控制系统和压力调节器管理介质。可以选择控制介质温度，以确保工艺效果。可以安装介质的再循环系统，以减少整个介质的消耗。

　　四、操作简单、安全

　　AD12易于操作和维护。只需按下一个按钮，就可以调用工艺参数和介质数据。可编程的配方加速了工作流程，促进了重复性。所有部件都很容易接触到，以方便操作和维护工具。此外，该工具的设计主要侧重于操作员的安全。带有自动安全玻璃门的密封工艺室确保了封闭的工艺环境，便于对工艺进行监控。联锁传感器保证了工具的安全运行。

　　德国SUSS MicroTec主要产品：

　　一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机：

　　自动涂胶机与显影机：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE

　　半自动涂胶与显影机：RCD8、ECD8

　　手动涂胶机与显影机：LabSpin6 / LabSpin8

　　二、喷墨打印机

　　JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机

　　三、光刻机、掩模对准机

　　全自动：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2

　　半自动：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series

　　手动：MJB4

　　四、测量系统

　　全自动:DSM8/200 Gen2

　　五、晶圆结合系统、自动贴片机

　　全自动：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200

　　半自动： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8

　　六、光掩模设备

　　全自动：MaskTrack Pro系列、ASx Serie

　　半自动：HMx Serie

　　七、投影扫描光刻机

　　全自动：DSC300 Gen3