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| 型号 |
VIC-D210 |
检测对象 |
气体 |
| 加工定制 |
否 |
重量 |
0.5 |
MFC热式气体质量流量控制器
MFC热式气体质量流量控制器
销售负责人-吴经理
MKP质量流量控制器（Mass Flow Controller）
压力不敏感
MARU 7000 PI压力不敏感型质量流量控制器
MARU 7000 PI是高性能的数字结构控制回路可以实时控制和诊断，通过表面电解抛光处理，具有you良的耐腐蚀性；Maru 7000 PI是压力控制器和数字控制回路的改善算法，速度、精度、重复性等功能提高，可适用于精密控制工艺的设备（如半导体MOCVD）。
优shi：
三星半导体ren证MFC
供给压力波动时也可以稳定的控制流量
模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,Profibus）
流量、压力、温度、Mac ID，通讯功能等通过MFC本体可显示
MGMR功能（多气体，多量程）
EP抛光，剧透you秀的耐腐蚀性
产品参数：
MARU 7000 PI 量程范围5sccm-50slm
流量测定范围：2%-100满量程
精度：≤±0.35%满量程（5%-35% Flow Range）/≤±1%读数（35%-100 Flow Range）
响应时间：<1sec
重复性：≤±0.15%满量程
正常工作压力：50-300Kpa
zui大工作压力：450Kpa
零点稳定性：<±0.5%F.S./年
温度系数：0.01%满量程/℃
泄漏率：1X10-11Pa.m3/sec（He）
阀门类型：常闭
密封形式：金属
数字接口：RS485，DeviceNet ,Profibus
信号类型：模拟0-5V，数字RS485，总线Devicenet、Profibus
电源：+15-24VDC
温度范围：5-50℃
预热时间：30min
材质：STS-316L电解抛光/真空退火（0.1ｕm Ra）
压力不敏感：<±2% 满量程 上/下波动5psi/sec
显示：MFC顶部4位FND
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