德国SUSS MicroTec-AS8涂胶机

　　代理德国苏斯微SUSS MicroTec喷墨打印机、涂胶机与显影机、光刻机、贴片机、俺膜机

　　AS8手动喷雾涂胶机苏斯微SUSS MicroTec

　　AS8手动喷雾涂胶机苏斯微SUSS MicroTec

　　销售负责人：吴经理 132.4667.5433

　　AS8手动喷雾涂胶机：适用于崎岖表面的手动喷雾涂胶机

　　AS8涂胶机可以满足实验室和试产环境下常用工艺的需要，对于起伏台阶几微米到600微米以上的三维微结构加工，都是理想的工具。

　　SUSS AS8涂胶机也可用于生产环境。

　　亮点：

　　顶部边缘覆盖的保形涂胶，且能避免沟槽中堆

　　专利的喷雾设计，可实现工艺稳定性与重复性的优化

　　跨越大起伏形貌的图案化赋能技术胶

　　基板尺寸直径为200 mm，方形基板边长为 6

　　最多可有2个独立的喷雾喷胶系统，以避免交叉污染

　　带有MMC控制器软件的触摸屏

　　全部工艺参数可在工艺菜单中编程

　　详细情况 : 涂胶

　　在喷涂法中，喷嘴将要涂抹的溶液喷在晶圆上。 经过优化后的晶圆上方喷嘴移动路径可以实现在衬底上均匀的涂层。 喷涂所用的液体通常粘度极低，以确保形成细小的液滴。喷涂法即使在凹凸图形上也能形成均匀涂层，因此它是这种结构的方法。 喷涂法还能喷涂方形的衬底。

　　德国SUSS MicroTec主要产品：

　　一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机：

　　自动涂胶机与显影机：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE

　　半自动涂胶与显影机：RCD8、ECD8

　　手动涂胶机与显影机：LabSpin6 / LabSpin8

　　二、喷墨打印机

　　JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机

　　三、光刻机、掩模对准机

　　全自动：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2

　　半自动：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series

　　手动：MJB4

　　四、测量系统

　　全自动:DSM8/200 Gen2

　　五、晶圆结合系统、自动贴片机

　　全自动：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200

　　半自动： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8

　　六、光掩模设备

　　全自动：MaskTrack Pro系列、ASx Serie

　　半自动：HMx Serie

　　七、投影扫描光刻机

　　全自动：DSC300 Gen3