韩国MKP热式气体质量流量控制器VIC-D240

　　代理韩国MKP热式气体质量流量控制器VIC-D240

　　MKPrecision(株）自2004年成立以来，作为代表韩国的MFC先导企业，取得了飞跃性的发展。通过国内（独）立的技术力，系统化，制造，供应世,界,先的最端半导体设备,主要产业用设备内核心配件MFC，与韩国产业发展同步持续成长。另外，不安于现状，为了全,球化，不断扩大出口，向着全.球技术先导企业，向着全世.界拓展舞台。

　　从国内最初成功实现MFC国产化到成为国内代表性MFC企业，经历了很多困难和失败。但是，在克服这些困难和失败的过程中所积累的很多经验和技术力成为了能够满足随着产业发展不断提高的客户需求的原动力。

　　MKP流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

　　产品参数

　　VIC-D240 Series

　　因适用PTFE DISK，整个区间的回应时间快

　　对毒性和腐蚀性气体的耐久性大幅增加

　　采用浪涌及耐电压保护电路

　　通过温度补正，在周围温度变化下也可维持准确度

　　流量范围（N2标准）：5sccm~1.5slm

　　流量控制器范围：满量程：2~100%

　　准确度：满量程≤±1%

　　回应时间：≤ 1.0 sec (10 ~ 100%)

　　线性: 满量程的≤ ± 0.2%

　　运转原理：热式

　　控制阀形势：Normally Closed Solenoid

　　输入输出信号：模拟性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA

　　数字型: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat)

　　电源供应：+15VDC ~ +24VDC

　　运转温度：5 ~ 50℃ (建议温度范围: 15 ~ 35℃)

　　连接器：Standard : D-SUB 9 pin Male

　　Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45

　　重量：1KG

　　型号：

　　VIC-D0200系列

　　VIC-D210，VIC-D220，VIC-D240，VIC-D245，VIC-D145，VIC-D150

　　TSM-D210，TSM-D220，TSM-D230，TSM-D240，TSM-D245，TSM-D250，TSM-D260，TSM-D250，TSM-D220D

　　TSC-D Series

　　TSC-D230，TSC-D245，TSM-D250，TSC-D210，TSC-220，TSC-245，TSC-200，TSC-230，TSC-145，TSC-150，TSC-210

　　模拟质量流量控制器：

　　M3030VA M3100VA M3200VA MS3150VA MS3400VA MS3500VA，MS3600VA，MS3700VA，MS3800VA

　　数字质量流量控制器

　　MD100C MD30C MD400C MD500C MD600C MD700C MD800C

　　模拟质量流量计

　　M2030VA M2100VA M2200VA MS2150VA MS2400VA MS2500VA MS2600VA MS2700VA MS2800VA

　　M2030A M2050V M2050A M2100V M2100A

　　UTIX匀胶TOP流量计

　　UF70-TF-T2-TO-JW20CCT

　　UF70-TF-T2-TO-JW150CCT

　　UF70-TF-T2-TO-JW500CCT

　　UF70-TF-T2-TO-JW50CCT