VIC-D220流量控制器数字式MFC

VIC-D220流量控制器数字式MFC

VIC-D220流量控制器数字式MFC

代理韩国MKP VIC-D220流量控制器数字式MFC

　　产品参数

　　VIC-D200 Series

　　因适用PTFE DISK，整个区间的回应时间快

　　对毒性和腐蚀性气体的耐久性大幅增加

　　采用浪涌及耐电压保护电路

　　通过温度补正，在周围温度变化下也可维持准确度

　　流量范围（N2标准）：5sccm~1.5slm

　　流量控制器范围：满量程：2~100%

　　准确度：满量程≤±1%

　　回应时间：≤ 1.0 sec (10 ~ 100%)

　　线性: 满量程的≤ ± 0.2%

　　运转原理：热式

　　控制阀形势：Normally Closed Solenoid

　　输入输出信号：模拟性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA

　　数字型: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat)

　　电源供应：+15VDC ~ +24VDC

　　运转温度：5 ~ 50℃ (建议温度范围: 15 ~ 35℃)

　　连接器：Standard : D-SUB 9 pin Male

　　Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45

　　重量：1KG

　　型号：

　　VIC-D0200系列

　　VIC-D210，VIC-D220，VIC-D240，VIC-D245，VIC-D145，VIC-D150

　　TSM-D210，TSM-D220，TSM-D230，TSM-D240，TSM-D245，TSM-D250，TSM-D260，TSM-D250，TSM-D220D

　　TSC-D Series

　　TSC-D230，TSC-D245，TSM-D250，TSC-D210，TSC-220，TSC-245，TSC-200，TSC-230，TSC-145，TSC-150，TSC-210

　　模拟质量流量控制器：

　　M3030VA M3100VA M3200VA MS3150VA MS3400VA MS3500VA，MS3600VA，MS3700VA，MS3800VA

　　数字质量流量控制器

　　MD100C MD30C MD400C MD500C MD600C MD700C MD800C

　　模拟质量流量计

　　M2030VA M2100VA M2200VA MS2150VA MS2400VA MS2500VA MS2600VA MS2700VA MS2800VA

　　M2030A M2050V M2050A M2100V M2100A

　　UTIX匀胶TOP流量计

　　UF70-TF-T2-TO-JW20CCT

　　UF70-TF-T2-TO-JW150CCT

　　UF70-TF-T2-TO-JW500CCT

　　UF70-TF-T2-TO-JW50CCT