FMA-A2213-(**) FMA-A2108 FMA-A2307流量计OMEGA欧米茄

　　气体质量流量计和控制器可选配一体式显示屏，用于测量洁净气体

　　FMA-A2000系列

　　气体质量流量计和控制器可选配一体式显示屏，用于测量洁净气体

　　FMA-A2000系列:气体质量流量计和控制器可选配一体式显示屏，用于测量洁净气体

　　精度为±1%

　　线性模拟输出

　　成本低

　　采用热感技术

　　可测量高达100 SLM的流量

　　内含电源

　　FMA-A2000系列电子质量流量计／控制器性能出众、 功能多样、设计先进、外形紧凑。

　　FMA-A2000利用毛细管式热感技术直接测量气体的质量流量。

　　无需进行温度、压力或平方根校正。

　　FMA-A2300／2400系列配备LCD显示屏，并且所有型号都提供线性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA输出。

　　FMA-A2000测量0 ~ 100 SLM之间24个量程的气体质 量流量。要查看完整列表，请参阅下一页的量程表。

　　FMA-A2000系列与大部分非腐蚀性气体相容。建议用户对照气体相容性检查接液材料。

　　OMEGA的质量流量控制器利用内部电磁比例阀控制质量流量。

　　可以通过内部电位器设定值或者通过0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信号。

　　规格:

　　精度： 满量程的±1%（包括线性度）

　　重复性： 满量程的±0.15%或者更佳

　　量程比： 100:1

　　响应时间： 5秒

　　气体环境温度： 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)

　　温度系数： 每1°C为满量程的0.05%或更佳

　　压力系数： 每psi为满量程的0.01%或更佳

　　蕞低压力要求：

　　流量计： 1英寸水柱

　　蕞大流速为1 SLM的控制器： 1 psi

　　流速大于20 SLM的控制器： 20 psi

　　质量流量控制器的压差： lt;5 LPM，5 ~ 50 psi（标准）

　　gt;5 LPM，20 ~ 40 psi（标准）

　　气体蕞大压力：

　　聚： 250 psig

　　316不锈钢： 500 psig

　　泄漏完整性： 1 x10-6 cc/min氦气或更佳

　　接液部件：

　　标配： 聚、氟橡胶O形圈

　　选配： 316不锈钢、氟橡胶O形圈

　　连接口： FNPT（标配）；

　　压合接头（适用于所有不锈钢型号流量计）

　　输入／输出连接口： 9针sub-D连接器

　　控制信号： 0 ~ 5 Vdc

　　控制阀： 常闭电磁阀

　　输出信号： 线性0 ~ 5 Vdc（蕞小负载1000 ），4 ~ 20 mA（环路电阻500 ）

　　安装螺纹：

　　316不锈钢壳体： 632"螺纹

　　聚材料： #4/6自攻螺丝

　　输入电源：

　　流量计： 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac（带交流适配器）

　　控制器： 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac（带交流适配器）

　　外形尺寸： 参见图纸

　　重量： 1.25 kg (2.75 lb)（含电源）