晶体二次生长卧式真空烧结炉 真空退火炉

　　1. 晶体二次生长卧式真空烧结炉 真空退火炉设备用途

　　本系列真空炉为周期作业式，采用石墨管或石墨棒(为发热元件，适用于金属材料，无机非金属材料，在真空或保护气氛下进行烧结适用，也可用于光学材料的烧结提纯适用。

　　2. 方案图

　　3. 晶体二次生长卧式真空烧结炉 真空退火炉主要技术参数

　　3.1 电源：单相380V 50Hz

　　3.2 加热功率：70Kw

　　3.3 温度：2000℃

　　3.4 工作区尺寸：Φ200*400（D*H，mm）

　　3.5 控温区数：一区

　　3.6 控温方式：钨铼热电偶

　　3.7 控温精度：±1℃

　　3.8 冷态极限真空度：6.67*10-3Pa（空炉、冷态、烘烤除气后）

　　3.10 充气气氛：惰性气体

　　3.11 充气压力：≤0.05MPa

　　4. 设备构成

　　5. 晶体二次生长卧式真空烧结炉 真空退火炉结构及功能说明：

　　 设备采用立式井式结构，设备整体设计，操作高度相似与桌面高度，操作方便，设备主要有炉盖、炉体，炉架、真空系统、加热系统、水冷系统、炉盖升降系统，控制系统等组成。

　　6.1 炉盖

　　炉盖采用双层不锈钢（SUS304）水夹层平板结构，与法兰组焊成一个整体。其中内壁精密抛光，外壁拉丝处理。炉门上设有冷却水进出口、炉盖升降连接座等炉盖电动升降，炉盖及保温屏整体安装在升降模组上，升降平稳，方便进出料。

　　6.2 炉体

　　炉体采用双层不锈钢（SUS304）水夹层架构，与上、下法兰组焊成筒形结构，上法兰平面上开设有燕尾型密封槽，采用O型硅橡胶密封圈密封。炉内壁精密抛光，外壁拉丝处理。炉体侧面设有冷却水进出口、真空抽气口、热电偶安装口等。

　　6.3 炉底

　　炉底采用双层不锈钢（SUS304）水夹层平板结构，与法兰组焊成一个整体。其中内壁精密抛光，外壁拉丝处理。法兰平面开设有燕尾型密封槽，采用O型硅橡胶密封圈密封。炉底设有水冷电极安装孔、自动充放气接口等，炉底与炉体用螺栓联接锁紧。

　　6.4 炉架

　　炉架采用型材焊接作为骨架，并配合数控钣金，组合成一个整体，作为整个设备的基础。同时，一体式设计整齐美观，操作方便。

　　6.5 加热及隔热系统

　　加热采用高纯石墨作发热体，纯度高，无挥发，有效保证炉腔内的清洁度。隔热材料采用石墨成型纤维软毡，保温效果好，耐冲击性好。整个隔热屏采用金属框架固定，便于安装与维护。

　　温度控制采用一支钨套管钨铼热电偶，同时，在隔热屏外设置一支监控热电偶，监控隔热屏外温度，提高设备的安全使用性能。

　　6.6 炉盖升降及锁紧装置

　　采用一台蜗轮蜗杆升降机带动炉盖及保温盖做上升下降运动，行程300mm左右。升降导向采用一根线性滑轨，与升降机、铝型材共同组合成一个整体。炉盖与升降机构的连接采用活动式连接，保证真空密封。

　　炉盖锁紧采用手轮压紧的方式，可保证设备在微正压下工作。