深圳吉田 原装进口 EL90触变，低比表面积

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　　卡博特-气相二氧化硅 EL-90

　　编号:J3817

　　一、产品简介:

　　CAB-O-SIL EL-90气相二氧化硅是一种高纯度产品，标称BET表面积为90 m2/g。该产品设计用于抛光硅晶片的分散剂和浆料配方，该工艺通常称为化学机械平面化CMP。

　　二、产品特点：

　　高化学纯度、表面积范围窄、粒度分布窄、高水平的产品一致性。

　　三、产品应用：

　　化学机械平面化是半导体制造行业的关键工艺。 CMP 通过使用精心配制和控制的气相金属氧化物分散体和其他化学品以及专门设计的设备和抛光垫，促进光滑、清洁和平坦的表面。

　　高度可控的 CMP 工艺要求气相二氧化硅具有设计的表面积和形态，适用于各种分散体和浆料。 CAB-O-SIL EL-90 气相二氧化硅是专门设计和一致制造的气相二氧化硅，使 CMP 配方能够：

　　优化抛光/去除率

　　在各种 IC 晶圆厂步骤中提供跨水平面度和均匀度

　　尽量减少污染金属

　　提供统一和一致的批次间性能

　　四、产品包装:

　　包装：10公斤/包 .

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