联系人：鲁月
邮箱：4807581996@qq.com
电话：13580816774
地址： 广东东莞市东莞市茶山镇黄岭路62号
| 型号 |
1300 |
类型 |
光学仪器 |
| 设备所在地 |
东莞 |
设备生产产地 |
日本 |
| 加工定制 |
否 |
规格尺寸 |
1 |
| 重量 |
11200kg |
厂家 |
宏城 |
工厂转让2台进口日本OTFC-1800CBI/DBI光学真空镀膜机
真空室SUS304,φ1800mm×1920mm (H)
工件架φ1600mm
工件架转速10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚计XTC/3+6点式石英晶体传感器
蒸发源电子枪2套
离子源23cmRF离子源
排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）
性能：
达到压力7.0×10-5 Pa以下
排气时间20分（大气压～1.3×10-3 Pa)
基板温度：350℃
特点：
OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
工作条件：
设备尺寸约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
电源3相, 200V, 50/60Hz,约150kVA
水流量180升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约11200kg
13580816774