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| 品牌 |
Halocarbon |
型号 |
halocarbon Vacuum Pump Fluids HaloVac 190 |
HaloVac®油的设计目的是在涉及氧化性环境或危险化学品的连续运行中用作不易燃和不反应的润滑剂。 HaloVac®油通常用于从半导体制造中的等离子蚀刻和化学气相沉积到反应气体处理和电子显微镜所用真空的各种应用。 这些油大大降低了与这些应用中常见的常规操作，维护和废物处理相关的安全和暴露风险。
主要性能特点：
化学惰性
无毒
无淤泥形成
不可燃（无闪点或着火点）
高热稳定性
对路易斯酸的优异抗性
低蒸气压
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