世伟洛克ALD3隔膜阀Swagelok超高纯度ALD6隔膜阀

　　我们的高性能 ALD 阀是世伟洛克长期以来在半导体制造业中显示出迅速积极的技术领导力的一个重要例子。ALD 阀技术问世以来，世伟洛克与半导体行业的客户密切合作，了解他们的需求，然后打造出 ALD 阀，提供必要的、高水平的精度、一致性、清洁度和高循环寿命，以跟上市场的快速创新步伐。我们的 ALD 超高纯阀具有以下特点：

　　快速开关下的超高循环寿命

　　流量系数从 0.27 至 1.7

　　使用耐热执行机构时，可在 390°F (200°C) 下完全浸入

　　适合于采用标准 316L VIM-VAR 不锈钢阀体的超高纯应用

　　模块化表面安装、卡套管对焊和世伟洛克 VCR® 端接

　　电子或光学执行机构位置传感选购件

　　世伟洛克®超高纯隔膜阀（ALD3 和 ALD6 系列）

　　世伟洛克 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀提供超高的循环寿命、快速开关和高达 0.62 的流量系数，使半导体制造商能够实现原子层沉积 (ALD) 半导体制造所需的可控计量。

　　ALD3 和 ALD6 隔膜阀特点

　　■ 常闭和常开气动执行器

　　■ 标准流量系数 0.27 到 0.62；可提供定制流量系数

　　■ 两孔口直通和弯曲流动路径结构

　　■ 两孔口、三孔口和四孔口多孔口阀和多阀阀组

　　■ 使用 1.125 in.（仅 ALD3 系列）和1.5 in. 平台的两孔口和三孔口模块化表面安装阀门

　　■ C-密封设计（所有阀门）

　　■ W-密封设计（仅 ALD3 系列）

　　■ 1/4, 3/8 和 1/2 in. 以及 6, 10 和12 mm 的 VCR, “H” 型 VCR 和卡套管对焊端接

　　隔膜

　　■ 钴基超级合金 (UNS R30003) 材料可提高强度和耐腐蚀性能

　　■ 优化的超高循环寿命设计

　　阀座

　　■ 全包含 阀座设计

　　■ 高纯级 PFA, 全氟化

　　■ 超高循环寿命

　　■ 广泛的化学相容性

　　■ 优秀的抗膨胀和防污染能力

　　■ 高整体性阀座密封性能

　　阀体

　　■ 阀体密封提供了超高循环寿命

　　■ 316L VIM-VAR 不锈钢阀体材料, 用于超高纯应用

　　■ 完全可清扫流道

　　■ 截流区最小化

　　■ 便于吹扫

　　■ 流量化

　　■ 带加热筒安装孔的可选阀体

　　执行器

　　标准

　　■ 高速, 可重复执行的气动执行器

　　■ 能够在不到 5 ms 内完成阀门开启或关闭

　　■ 工厂设置的流量调节装置保证阀门间的, 一致的 Cv

　　■ 可选的、工厂设置好的电子执行器-位置传感器可用以确认气动

　　执行阀门开启位置

　　■ 可选的电磁导阀, 用于高速执行的电子控制

　　耐热

　　与标准执行器拥有相同的性能和选购件, 同时拥有以下特点：

　　■ 包括热应用场合的热隔离连接

　　■ 限制从阀体到执行器的传导性热传输

　　■ 提供更均匀的阀体温度来减少冷点

　　■ 显著降低加热阀门所需的电功率

　　■ 延长加热阀体应用场合下的执行器寿命

　　结构材料（ALD3 和 ALD6）

　　器组件 —

　　汽缸, 盖 铝

　　活塞 粉末金属 300 系列 SS - 常开；

　　铝—常开和常闭

　　基座 粉末金属 300 系列 SS - 常开；无 - 常闭

　　流量调节装置 316 SS/A479

　　O 型圈 碳氟 FKM

　　弹簧 S17700

　　按钮 316 SS/A479

　　衬套 碳填充的 PTFE

　　2 热隔离连接外壳（仅耐热型） 316 SS/A479

　　3 热隔离连接杆（仅耐热型） S17400

　　4 阀帽螺母 316 SS/A479

　　5 阀帽 S17400

　　6 隔膜 钴基超级合金 (UNS R30003)/AMS 5876

　　7 阀座 高纯 PFA II 型/D3307

　　8a 阀体 316L VIM-VAR SS/SEMI F20 超高纯?

　　8b 焊接 VCR 端接 316L VAR SS/SEMI F20 超高纯?

　　润滑剂 PTFE-基

　　工艺规范（ALD3 和 ALD6）

　　关于工艺, 工艺控制和工艺验证的详细信息, 请参阅世伟洛克® (Swagelok®)超高纯工艺规范 (SC-01), MS-06-61。

　　清洁

　　装配和

　　包装

　　润湿表面

　　粗糙度 (Ra) 测试

　　采用全程监控的去离子水

　　超声波清洁系统进行超高

　　纯清洁

　　在 ISO 4 级工作区进行,

　　阀门被双重包装并真空密

　　封于洁净室袋中。

　　电抛光并精加工成平均

　　5 μin. (0.13 μm)

　　ALD3 常闭：阀座, 外壳和所有密封都经过内部氦气泄漏测试,

　　泄漏率为 1 × 10–9 std cm3/s。

　　ALD3 和 ALD6 常开和 ALD6 常闭：经过内部氦气泄漏测试, 阀座泄

　　漏率为 1 × 10–8 std cm3/s, 外壳以及所有其它密封处的泄漏率为

　　1 × 10–9 std c3/s。

　　端接

　　标准执行器订购号 耐热执行器订购号

　　尺寸, in. (mm)

　　A

　　进口/出口 尺寸 常闭 常开 B

　　ALD3 系列

　　内螺纹 VCR 接头 1/4 in. 6LVV-ALD3FR4-P- 6LVV-ALD3TFR4-P- 3.50 (88.9)

　　（标准执

　　行器）

　　4.50 (114)

　　（耐热执

　　行器）

　　3.22 (81.8)

　　（标准执

　　行器）

　　4.22 (107)

　　（耐热执

　　行器）

　　2.78 (70.6)

　　（标准执

　　行器）

　　4.76 (121)

　　（耐热执

　　行器）

　　3.48 (88.4)

　　（标准执

　　行器）

　　4.48 (114)

　　（耐热执

　　行器）

　　4.16 (106)

　　电子执行器-位置传感器

　　向电子设备传送信号以指示气动执行阀门的开启位置。下文描述的传感器和电气连接是第三方产品。

　　工厂装配的电子执行器位置传感器工厂装配的位置传感器经设置，达到了性能，并使用防篡改糊剂进行密封，这样可明显看出是否被拆解或调整过。

　　欲订购工厂装配在阀门上的电子执行器-位置传感器, 请在阀门订购号上添加一个代号。

　　示例：

　　6LVV-AL3BW4-P-CS 6LVV-SM-ALD6-HF2-P-CSL

　　加热筒安装孔

　　可提供阀体带加热筒安装孔的阀门。

　　■ 孔尺寸：对于两孔口, 三孔口和弯曲流动路径阀体, 为 1/8 in. 通孔；对于单块阀体, 为 1/8 in., 深 1 in. 孔。

　　■ 两孔口和单块阀体配有两个阀体孔；三孔口和弯曲流动路径阀体配有一个阀体孔。如需更详细信息, 请与您的世伟洛克授权代表联系。

　　工厂装配的电磁导阀

　　欲订购工厂装配的电磁导阀, 请在订购号中添加 V。

　　示例： 6LVV-ALD3BW4-P-CV

　　6LVV-MSM-AL6-2-P-CV

　　在模块化表面安装系统中, 电磁导阀可能会干扰相邻部件。

　　现场装配用电磁导阀

　　单独的电磁导阀部件的订购号：

　　MS-PVK-AL-MAC34CA