表面处理机/小型离子溅射仪 型号: SBC-2 库号：M208809

　　表面处理机/小型离子溅射仪 型号: SBC-2 库号：M208809

　　多功能试样表面处理机是为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射，它也可以在高纯氩气的保护之下进行多种离子处理。用本设备处理的试样既可用于样品的外貌观察又可以进行成分分析，尤其是成分的定量分析为适宜。本仪器装有机械泵、分子泵，分子泵系统特别适用于对真空要求高、真空环境好的用户选用。

　　※ 主要用途：真空镀膜，离子溅射，真空蒸碳等。

　　※ 主要特点：抽速快，操作简便，真空度高，。

　　规 格

　　一、试样处理室

　　（1）钟罩：内径250mm×高度340mm

　　（2）玻璃处理室：

　　玻璃罩 A:内径88mm×高度140mm

　　玻璃罩 B:内径88mm×高度57mm

　　（3）试样台：直径40mm（大）

　　（4）试样旋转：电动

　　（5）挡板：电动

　　（6）蒸发加热器：可同时安装两个加热器

　　二、真空系统

　　（1）抽气系统：由分子泵、机械泵组成的高真空机组

　　（2）真空检测：金属电阻规、冷规

　　（3）常用真空度：1.3×10-2~ 6×10- 3 Pa

　　（4）操作：手动

　　三、处理电源：

　　（1）高压电源：DC 2000V 10mA连续可变，用表指示。

　　（2）低压电源：AC 10V 60A连续可变，电流用表指示。

　　四、体积重量：

　　（1）体积：L800mm×W560mm×H1340mm

　　（2）重量：约150公斤

　　五、电源要求：AC 220V 50Hz 10A

　　六、气体要求：氩气--纯度99.9%(对样品有特殊要求时可使用)

　　七、冷却要求：

　　本系统采用F100/110F普通轴承风冷涡轮分子泵，其冷却方式为风扇强制风冷、通水冷却两种，当工作环境温度低于摄氏32度时，可采用风冷冷却，当工作环境温度高于摄氏32度时，则采用水冷。目前本系统标配为风扇风冷形式。