联系人:杨肖梅
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电话:18103045976
地址: 广东东莞市东莞市茶黄岭路62号
| 型号 |
13B-5P |
控制形式 |
数控 |
| 精密程度 |
高精度 |
自动程度 |
自动 |
| 传动方式 |
机械传动 |
设备生产产地 |
苏州 |
| 设备所在地 |
东莞茶山 |
主电机功率 |
15 |
| 最大磨削尺寸 |
280 |
加工精度 |
0.001 |
| 工作台尺寸 |
500*1200 |
产品数量 |
10 |
| 重量 |
3000 |
外形尺寸 |
1400*1600*2800 |
| 厂家 |
瑞德 |
|
一、主要用途
主要用于硅片,钨钢,蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨/抛光,尤其适用于超薄工件的加工。
二、技术参数
| 序号
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项目
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规格参数
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1
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下盘
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尺寸
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Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨)
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Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光)
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转速
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3-45 rpm
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驱动电机
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7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm
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2
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上盘
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尺寸
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Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨)
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|
Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光)
| |||
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转速
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3-30 rpm
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驱动电机
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4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm
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|
3
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游星轮
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参数
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节距:15.7 Z=64
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数量
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6个
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4
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太阳轮
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转速
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0-20 rpm
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驱动电机
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1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm
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5
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精度指标
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上、下盘平面度
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≤0.015mm
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下盘端跳
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≤0.02mm
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6
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加工范围
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加工尺寸
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Φ280mm
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最小加工厚度
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0.15mm(≤2"片)
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整盘承载量
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18×6=108片(2" 圆片)
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7
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水源
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纯水或自来水
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