联系人：杨肖梅
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电话：18103045976
地址： 广东东莞市东莞市茶黄岭路62号
| 品牌 |
日本光驰 |
型号 |
OTEC-1550 |
| 设备所在地 |
东莞茶山 |
货号 |
1550 |
| 主电机功率 |
15kw |
重量 |
5000kg |
| 外形尺寸 |
4500*5500*3200mm |
加工精度 |
0.001 |
| 工作台尺寸 |
1550mm |
|
详细说明
工厂转让一台日本**OTFC-1550真空电镀膜机
真空室尺寸：Φ600-1550mm 60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
规格
设备名称OTFC-1550CBI/DBI
真空室SUS304, φ1550mm
工件架φ1550mm
工件架转速10 rpm to 30 rpm (可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围：350nm to1100nm反射式/透射式可选
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源10cm RF 离子源
排气系统机械泵+1个扩散泵+Polycold（或1个冷凝泵）
性能
排气时间15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa)
基板温度：350℃
工作条件
设备尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
电源3相,200v,50/60Hz, 约80KVA
水流量180升/分以上
空气压力0.5MPa 以上
重量约5400kg
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