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| 名称 |
日本光驰镀膜机 |
类型 |
AF AR镀膜机 |
| 型号 |
OTEC-1550 |
|
详细说明
工厂转让一台日本**OTFC-1550真空电镀膜机
真空室尺寸：Φ600-1550mm 60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上 利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程 工件架可选择钟罩式或行星式 排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
规格 ：
设备名称OTFC-1550CBI/DBI
真空室SUS304, φ1550mm
工件架φ1550mm
工件架转速10 rpm to 30 rpm (可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围：350nm to1100nm反射式/透射式可选
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套 离子源10cm RF 离子源
排气系统机械泵+1个扩散泵+Polycold（或1个冷凝泵）
性能 ：
排气时间15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa)
基板温度：350℃
工作条件
设备尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
电源3相,200v,50/60Hz, 约80KVA 水流量180升/分以上 空气压力0.5MPa 以上
重量约5400kg
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