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电话：18103045976
地址： 广东东莞市东莞市茶黄岭路62号
| 品牌 |
光弛 |
型号 |
OTFC-1300 |
| 设备所在地 |
东莞市茶山镇黄岭路62号 |
货号 |
OTFC-1300 |
| 传动方式 |
机械传动 |
主电机功率 |
150 |
| 最大磨削尺寸 |
1300 |
自动化程度 |
自动 |
| 重量 |
3000 |
外形尺寸 |
1500*1600*2800 |
| 加工精度 |
0.001 |
工作台尺寸 |
1300 |
| 厂家 |
光弛 |
|
设备名称OTFC-1300CBI/DBI
真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
工件架φ1130mm
工件架转速10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源17cmRF离子源
排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）
达到压力7.0×10-5 Pa 以下
排气时间15分（大气压～1.3×10-3 Pa)
基板温度：350℃
工作条件
设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
水流量140升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约8500kg
18103045976