联系人：杨肖梅
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电话：18103045976
地址： 广东东莞市东莞市茶黄岭路62号
| 品牌 |
日本光驰 |
型号 |
OTFC-1550 |
| 外形尺寸 |
50000x7200x53700mm |
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工厂转让一台日本原装OTFC-1550真空电镀膜机使用范围:介质膜及金属膜光学元件镀膜
OTFC- 1550光驰机(年份:2015. 11）
真空室：SUS304,Ф1550*1800MM
工件架：Ф1400
工件架转速：10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A
光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式/透射式
水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源：2套日本电子16P双枪
离子源：23 寸光驰RF离子源
排气系统：机械泵2个，扩散泵Polycold (或2个冷凝泵)275机械泵+爱德华配套罗茨泵
性能
达到压力：7. 0X10-5Pa以下
排气时间：20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)
基板温度：:350C
工作条件
设备尺寸：4500(w)X5500(P)x3200(H)mm
电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA
水流量：180升/分以上
空气压力：0.5MPa以上
重量：约11000kg
详情 杨经理
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