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CD、DVD等装置中物镜的透射波面测定。光检测器光学系统，零件的平面度、透射波面精度测定。
直径25mm以下的小口径平面测定用菲索型干涉仪，干涉仪方向可对应向下，向上，横向3个方向。出射光为圆偏光。可自由切换为圆偏光或者直线偏光，尤其适用于测定塑料，结晶等复合折射率样品的透射波面。
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