全自动光罩碳氢超声波清洗机

　　全自动光罩碳氢超声波清洗机是非标订制的一台全封闭式全自动龙门双臂步进多工位碳氢清洗烘干机，除人工上下料外其它均由PLC控制自动完成整个清洗工作。整套设备主要有1套电控系统、1台上料工位、1台下料工位和4个清洗工位和1个烘干工位组成，主要针对光罩内外表面的油污、灰尘等杂质的高清洁度清洗，确保光罩能达到技术条件要求，内部无杂质。

　　全自动光罩超声波清洗机特点：

　　采用自主研发的超声波发生器、超声波换能器，超声强劲均匀，机械Q值高、性能稳定，使用寿命长。

　　PLC控制系统：进排水、清洗温度、清洗时间、烘干时间、过滤循环时间、超声波功率等所有参数在人机界面设置运行。

　　过滤循环系统：过滤精度1-50um可选，过滤掉清洗液中的颗粒沉淀物、悬浮物、漂浮物等，提高清洗剂利用率，节省清洗成本。

　　全自动光罩超声波清洗机内槽材质采用304不锈钢，耐酸碱，抗腐蚀能力强。

　　设备使用不锈钢包裹，采用1.0mm厚电解板喷粉及亚加力板活动门和透明观察窗。

　　清洗槽内投入篮、搬出篮及槽间移动篮的全部过程都由机械手自动完成。

　　清洗篮：骨架采用圆枝结构，四周和底板采用不锈钢孔板焊接，承重能力强。

　　全自动光罩超声波清洗机占地小，功耗低

　　可适用碳氢和改性醇溶剂

　　真空、高温超声清洗，清洗效果佳

　　溶剂循环蒸馏，实现清洗液零排放

　　全自动光罩超声波清洗机全密闭清洗腔结构，溶剂损耗低，约0.15升/时

　　清洗工艺：

　　粗洗准备

　　喷淋+超声浸泡粗洗，粗洗自循环，粗洗回液，粗洗完成

　　全自动光罩超声波清洗机精洗准备

　　喷淋+超声浸泡精洗，精洗自循环，精洗回液，精洗完成

　　蒸汽浴洗+真空干燥

　　可选配置：

　　全自动光罩超声波清洗机自动进出料装置、退磁装置、洗篮转动或摆动装置、辅助蒸馏装置、防锈处理、全密闭安全容器