联系人：于防
邮箱：info_sdc@163.com
电话：13357972539
地址： 江苏淮安市盱眙县金源北路20号雨润中央广场综合楼1816室
| 型号 |
Supporter |
|
由于汇率各方面因素影响，以上价格不作为成交价格，详情请来电垂询各地区商务代表，给您带来不便，深表歉意！
筑波精工株式会社Supporterシステム静電チャックの常識を打ち破る 給電ユニットなしで吸着維持可能なキャリアタイプ
半導体の製造プロセスにをもたらします。
Supporterは、強度のある基材の両?に特殊な素材を挟みこみ?体形成した静電チャックで、半導体製造?程でウェハをサポートするために使?する治具（キャリア）として利?します。
筑波精?の既存の静電チャックが持つ特?に加え、給電ユニットから分離しても吸着?を維持する特?を備えています。
給電ユニットを?いて?度電界をかけると保持?は半的に維持され、対象物を「Supporter」から分離する際にはもう?度給電ユニットを?いて電界を解除すれば、いつでも「Supporter」と対象物を分離することができます。
打破有关静电吸盘的传统观念这
将彻底改变载流子型半导体的制造工艺，无需电源装置即可通过吸力进行吸附。
支撑器是在坚固的基材两侧夹入特殊材料而制成的静电吸盘，在半导体制造过程中用作支撑晶圆的夹具（载体）。
除了筑波精工现有静电吸盘的特点外，它还具有即使与电源装置分离也能保持吸力的特点。
一旦使用电源装置施加电场，保持力将半地保持，并且如果将物体与“支撑体”分离，则可以再次使用电源装置释放电场，并且“支持者”可以随时使用，并且可以将对象分开。
13357972539