联系人：李小姐
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地址： 中国 广东 深圳市龙岗区布吉镇上水工业园
| 品牌 |
进口 |
是否支持加工定制 |
否 |
| 型号 |
ZERO |
产品名称 |
高精度极低温铯离子源FIB系统 |
| 产地 |
美洲 |
产品颜色 |
白色 |
| （离子光学系统）发射源 |
极低温Cs+ |
分辨率 |
2.5nm |
| （离子光学系统）探针电流 |
1pAto5nA |
视野范围 |
6mm |
应用领域
◎ 纳米精细加工
◎ 芯片线路修改和失效分析
◎ 微纳机电器件制备
◎ 材料微损伤磨削加工
◎ 微损伤透射电镜制样
设备特点
更高的亮度：低温Cs+离子使FIB: ZERO（Cs+ LoTIS）与传统FIB (Ga+ LMIS)相比具有更高的亮度，配合其全新的高对比度大景深成像系统，对样品的观察范围更大、更清晰。
更小的离子束斑尺寸：FIB: ZERO（Cs+ LoTIS）系统小分辨率可达2 nm，提供了比传统的FIB (Ga+ LMIS)更高的加工精度。
更小的能量散失：可达10 nA以上的离子束电流，保证了低能量离子束条件下的优 秀表现。
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