KLA 白光干涉轮廓仪 Profilm 3D供应光学测量设备
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品牌

KLA

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Profilm3D?和 Profilm3D-200光学轮廓仪经济实惠,是一套非接触式基于白光干涉法的3D表面形貌测量系统。最新一代的白光干涉仪拥有新的成像模式,性能和价值得到了大幅提升。Profilm3D系列通过简单、灵活的程式设置测量纳米级至毫米级表面,可进行单次扫描或在多个点位自动测量,来支持研发和生产环境。


产品描述

Filmetrics Profilm3D和Filmetrics Profilm3D-200白光干涉仪能够高分辨率地测量亚纳米级分辨率的表面形貌。这些机台支持垂直扫描和相移干涉测量法。Profilm3D采用TotalFocus?技术,可以产生令人惊叹的3D自然彩色图像,每个像素都处于聚焦状态。最新一代的 Profilm3D引入了加强版粗糙度成像技术,可用于测量更粗糙的表面、更高的斜率以及更低的反射率表面。

在Profilm3D测量技术中,测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径,能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中,可以进一步增大测量区域。Profilm3D还具有简单、创新的用户界面和自动化功能,支持从研发到生产的各种工作环境。

我们的Profilm?软件包采用先进的基于云的ProfilmOnline?网络服务、Android和iOS的移动应用程序以及高级Profilm桌面软件,可提供灵活的数据存储、可视化功能以及分析解决方案。


主要功能

● 垂直扫描和相移干涉测量,可用于测量从纳米级到毫米级的表面特征

● TotalFocus 3D成像技术对整个测量范围内的每个像素的聚焦能力都进行了优化

● 真彩色成像可生成实际的样品颜色,增强可视化效果,尤其是对于细小或埋藏的特征

● 粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹的对比度,从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度,并改善了粗糙表面上的信噪比

● 自动对焦功能具有行业领先的长压电行程范围,可扫描高度相隔甚远的多个表面

● 具有长行程范围的自动化 X-Y 样品台,非常适合分布测绘和拼接扫描

● 使用简便的软件包带有高级 Profilm 桌面、基于云的 ProfilmOnline 和移动应用程序,可用于灵活的数据存储、可视化功能以及分析

● TotalFocus成像,即使在高度变化大于物镜焦深的表面上,也能产生令人惊叹的真彩图像,并且每个像素都在焦点上


商家电话:
13570875330