TMC主动隔振平台STACISIII供应光学实验设备

TMC 主动隔振平台STACISIII是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS 采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和先 进的压电执行器，通过连续测量地板活动，然后扩展和收缩压电执行器以滤除地板运动，实时消除振动。

STACIS 最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现在是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施, 和材料研究。

STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器 DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板上的 USB 串行端口，这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在全球有数百个成功安装案例，是对振动最敏感的仪器的理想隔振系统。

特点&优点

STACIS 的刚度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬挂，与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过充分优化。

独特的串行设计和专有的高压压电技术
产生了从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽主动带宽和无与伦比的真正主动隔振，从 2 Hz 开始减振 90%。

性能规格
活动自由度 6
活动带宽 0.6 赫兹 - 150 赫兹
无源固有频率 18 Hz 垂直和水平
有效有源谐振频率 0.5赫兹
1 Hz 时的隔离 40% - 70%
≥2 Hz 时的隔离 ≥90%
10 lb (4.5 kg) 阶跃输入后的稳定时间（10:1 减少） 0.3 秒
内部噪音 <0.1 纳米 RMS
每个隔离器的工作负载范围 低容量：400-1100 磅（182-500 千克） 中
容量：900-2100 磅（410-955 千克）
高容量：1900-4500 磅（864-2045 千克）
刚度（1000 磅/454 千克质量，中等容量隔离器） 40,000 磅/英寸。(73 x 10 5牛/米)
从隔离器最 大 4 英寸（102 毫米）处发射的磁场 <0.02 μG 宽带 RMS

隔离器设计、尺寸以及环境和公用设施要求
环境与安全 符合 CE 和 RoHS
主动隔离元件 最小容量为 3300 lb. (1500 kg) 的压电执行器接收来自高压放大器的信号，输出电压高达 800 VDC。垂直致动器支持隔离的有效载荷。
无源隔离元件 单一刚性各向同性弹性体（无需压缩空气供应）
振动传感器元件 向下的地震检波器型惯性传感器测量隔离器下方的地面振动并提供与振动运动速度成正比的电压
主动反馈控制回路 在支撑隔离表面的弹簧下方测量、处理和衰减地板振动
隔离器尺寸 (WxDxH) 11.75 x 12.5 x 10.8 英寸
300 x 320 x 275 毫米
隔离器重量 75 磅（34 公斤）
工作温度 50° - 90° F
10° - 32° C

储存温度 -40° - 130° F
-40° - 55° C
湿度 80% 最 大值在 68 华氏度（20 摄氏度），最 大露点：18 摄氏度
系统电源要求 100、120、230、240 伏交流电
50/60 赫兹交流电；<600 W
符合 CE 标准
地板位移 <480 微英寸。(12 μm) 低于 10 Hz
每个系统的隔离器数量 最少 3 个
选项 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、升降机罩