联系人：李小姐
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地址： 中国 广东 深圳市龙岗区布吉镇上水工业园
| 品牌 |
KLA |
是否支持加工定制 |
否 |
| 是否进口 |
是 |
|
核心参数
产地类别： 进口
测量原理： 电容式
测量范围： 0-1000um
精度： ±0.5
探针尖半径： 2.0um
探针作用力： 0.5 – 50mg
扫描长度： 150mm – 无需拼接
台阶高度重复性： <=4?
垂直方向分辨率： <=0.01?
测量样品最大尺寸： 150mm
产品特性及扩展选项
P-7探针式台阶仪凝聚了KLA在量测领域的大量经验和技术优势，并具有丰富的扩展选项。
·探针扫描
扫描载台具有150mm的精确扫描范围以及最大1mm的扫描高度范围，从而保证最高质量的2D和3D扫描数据。
·台阶重复性
在1微米阶高的重复性为0.4纳米。这归因于极低噪音电子元件，亚埃分辨率的电容式传感器，以及超高平整度的平品基座。
Apex软件
Apex分析软件通过提供调平、滤镜、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展套件，增强了P-7的标准数据分析能力。Apex支持ISO粗糙度计算方法以及如ASME之类的本地标准。Apex还可用作报告编写平台，具有添加文本、注释和是/否合格的准则。Apex提供八种语言的版本。
·自动化测量(可选)
自动化测量包括图案识别、1000个量测序列点和序列队列功能，可以极大提高产量。图案识别与高级校准相结合，可减少平台定位误差，并实现系统间配方的无缝传输。自动化测量与特征检测、特征发现、Apex软件充分集成后可以实现自动化收集和报告数据的功能。
·3D 成像(可选)
通过3D扫描可以得到表面的三维成像，呈现出彩色三维图像或自上而下的等高线图像。可以从中提取截面/线中的三维或二维数据。
·应力分析(可选)
能够测量在生产包含多个工艺层的半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置并精确测量样品翘曲，然后通过应用Stoney方程来计算应力。2D应力通过在直径达150mm的样品上通过单次扫描测量，无需图像拼接。3D应力的测量采用多个2D扫描，并结合0平台在扫描之间的旋转对整个样品表面进行测量。
离线分析软件(可选)
离线软件可以创建扫描和序列配方，以及分析Profiler或Apex数据，
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