联系人:李小姐
邮箱:sz13242929296@163.com
电话:13570875330
地址: 中国 广东 深圳市龙岗区布吉镇上水工业园
| 品牌 |
HORIBA |
是否支持加工定制 |
否 |
| 是否进口 |
是 |
|





一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
1
主要特点
1. 液晶调制技术,无机械转动部件,重复性,信噪比高
2. 技术成像系技术,所有样品均可成像,对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.
3. 反射式微光斑,覆盖全谱段,利于非均匀样品图案化样品测试
4. 全自动集成度高,安装维护简便
5. 一键式操作软件,快速简单
6. 自动MAPPING扫描,分析样品镀膜均匀性
2
技术参数
1. 光谱范围:450-1000 nm
2. 多种微光斑自动选择
3. 光斑可视技术,可观测任何样品表面
4. 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探测器