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真空等离子清洗系统设备用于印制线路板行业，半导体IC领域、等离子硅胶处理、塑胶处理、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。
印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污、软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板活化前处理。
真空等离子清洗系统外接一个真空泵，工作中时腔内的等离子体对被清理物表层开展轻度冲洗，短时间可使污染物去除清洗干净，污染物被泵排走，其洗净度做到纳米级别水准。等离子清洗机除了有超清洗的作用，还能够作用于材料表层，使表层分子的离子重新键合排列，进而更改一些材料表层的特性。
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