联系人：陈生
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电话：13600175720
地址： 中国 广东 深圳市电子工业设备
| 品牌 |
CRF诚峰智造 |
是否支持加工定制 |
是 |
| 重量 |
200 |
电源 |
380V/AC,50/60Hz,3kw |
| 射频电源功率 |
600W(13.56MHZ) |
容量 |
20L（可定制） |
| 腔体层数 |
1层 |
尺⼨ |
1790mm*1200mm*1750mm |
| 轨道数量 |
4轨/5轨/6轨(可定制) |
产品上下料⽅式 |
自动升降，自动进、出料，产品片式清洗后，回到清洗前的存放位置 |
| 使用气体 |
两路⼯作⽓体可选：Ar、N2、H₂、CF₄、O₂ |
真空泵 |
油泵/⼲泵 |
| 适合产品规格 |
158-300mm(L)*25.4-120(W) |
⼚务条件 |
电压/Voltage:Ac380V,50/60Hz;气压/Gaspressure:0.4-0.6MPa |
13600175720