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| 品牌 |
德杜 |
型号 |
KDM-100A |
| 材质 |
电阻率测试仪 |
显示形式 |
数字型 |
| 加工定制 |
是 |
|
KDM-100A半绝缘半导体电阻率分布测绘仪
本仪器是参照德国din标准DIN50448:“Determination of the resistivity of using a capacitor semi-insulating semiconductors利用电容测定半绝缘半导体的电阻率”设计的半绝缘半导体电阻率测试仪，并取得了中华人民共和国知识产quan局专li。
（1）硬件指标
样品台：100mm×100mm
测量方式：单点测量或通过X-Y轴手动滑台进行多点测量
X-Y轴调节精度：20μm
探头高度：手动调整
探头手动调节精度：1μm
遮光罩：测试区域配置遮光罩
（2） 测试系统
电荷放大器：为KDM特别开发
脉冲发生器：适配KDM系统的程控脉冲源
电阻率测量范围：1×106～109Ω·cm（可扩展）
探针直径： 2mm
重复性（同一测试点）：1×106～109Ω·cm以内＜5%
（3）测量控制
计算机：配置工控机和液晶显示器
操作系统：Windows 7，64位
KDM测量软件：zi主研发
读数方式：自动采集数据并计算、保存测试结果，可导出测试数据
（4）被测样片要求
样片直径：10mm～100mm
样片厚度：250μm～5000μm
样片表面锯面、腐蚀面或抛光面，粗糙度小于10μm
（5）客户环境要求
环境：洁净的测试环境，固定的放置主机的场地
电源：AC220V±10%，50/60Hz
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