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RGM-510系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEM S)流 量传感芯片制作,适用于各种用途的清洁,产品特点:精度高(2 . 0%F. S精度)线性输出和无需温度补偿以最小的零漂保持长期稳定性固态传感核心(无表面空洞或易碎膜),抗堵塞和压力冲击模拟数字输出可