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共焦位移传感器是测量位移的高精度位移传感器,共焦位移传感器可用在标准的和独特的小型化设计产品,运用不同反射特性测量各种不同的表面,并用于单面厚度的测量。
共焦位移传感器规格
测量范围（mm）：0.12 | 0.300 | 1 | 3 | 8.5 | 10 | 20 | 22 | 24
线性0.12μm
分辨率0.005μm
极小和恒定的光斑尺寸
高精度测量，也用于镜子和玻璃
纳米级分辨率
单面厚度测量
轴向和径向版本
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