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| 型号 |
SMIF |
工作原理 |
机械式 |
| 电源 |
220V |
重量 |
26 |
| 厂家 |
www.f-lab.cn/smiffoup.html |
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手动SMIF吊舱开启器是桌面型手动SMIF pod开启器。一个简单的臂机构解锁RSP150吊舱机构,从而轻松释放SMIF晶圆吊舱盖。当从底座上拆下盖密封件时,辅助盖存储区域保持清洁。臂机构的简单反向运动关闭晶圆SMIF吊舱。兼容所有行业标准的单堆栈和多堆栈RSP150吊舱。为ISO 5级(FS209E 10级)设计;抗静电结构
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