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| 型号 |
FPHSQ-AFO |
工作原理 |
机械式 |
| 精度 |
1um |
电源 |
220V |
| 重量 |
34 |
厂家 |
www.f-lab.cn/smiffoup.html |
自动FOUP开盒机可对300毫米FOUP盒自动开门器解锁、移除并存储FOUP门。FOUP下方的旋转基座机构允许360°旋转，以将打开的FOUP盒定位在操作员的zui佳人体工程学进入位置。
(上述价格不准确，请您联系我们获得准确价格）
自动FOUP开盒机通常安装在FOUP晶圆盒清洗站，用于拆卸和重新组装吊舱。为ISO 3级（FS209E 1级）设计；抗静电结构。
自动FOUP开盒机规格参数
| 适合晶圆尺寸 | 300mm |
|---|---|
| 供电要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately |
| 吞吐量 | 90 FOUPs/小时 |
| 重量 | 约为30kg |
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