联系人：陈经理
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电话：13820163359
地址： 上海浦东新区上海自由贸易试验区德堡路38号2幢楼三层
| 型号 |
FPCHE-PEVCD |
额定电压 |
220 |
| 额定功率 |
5 |
适用领域 |
镀膜 |
| 重量 |
120 |
产地 |
www.f-lab.cn/vcd.html |
| 是否进口 |
是 |
厂家 |
www.f-lab.cn/vcd.html |
等离子体增强化学气相沉积系统是进口的PEVCD系统,具有竞争力的价格和性能。（以上价格未必正确，请联系我们获取准确价格）
等离子体增强化学气相沉积系统规格参数
| 加热模块 | zui大温度: 1200℃ 加热区域长度: 270 mm 恒定加热区域: 100 mm 管子尺寸: 60 mm (dia) x 1250 mm (lenght)
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|---|---|
| 射频功率模块 |
输出功率: 0 - 300 W 稳定性: +/- 0.1% 频率: 13.56 MHz zui大功率: 120 W
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| 真空模块 |
< 50 Pa for low vacuum module < 1 Pa for medium vacuum module < 0.005 Pa for high vacuum module
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| 气体混合模块 |
up to 4 channels with digital displayed mass flow meter Gas Flow Range: 0 - 200 sccm Gas Flow Accuracy: +/- 1.5% F.S.
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| Temperature Control |
PID Control - self-tuning 30 Segments Program N-type Thermal Couple Temperature Accuracy: +/- 1℃
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13820163359