中功率准分子激光器

中功率准分子激光器是全金属/陶ci器件气体激光器,采用先进的线性设计在紧凑封装中产生高能量准分子激光输出,静态和动态气体寿命远高于其它准分子激光器。在真空紫外157nm波长的F2气体寿命优势尤其明显，静态气体寿命超过15天，而其它品牌的准分子激光器气体寿命多为1天。适用于紫外激光微加工,可调谐激光泵浦,激光质谱分析等应用。可提供193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(eCl),351nm(eF)波长,脉宽6-8ns,重复频率300Hz,248nm激光功率3，193nm激光功率高达4W。

　　中功率准分子激光器具有较高重复频率和中等激光功率,结构紧凑而具有ling先的准分子激光性能,可靠性强,重复频率为250Hz和500Hz，KrF激光器248nm波长平均功率为12W.

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高效放电

　　高效率是获得优异激光性能的关键。中功率准分子激光器的工作效率是同类小型准分子激光器的3倍。这意味着只需要输入1/3的能量就可以实现相同的准分子激光输出。优化的软电晕预电离状态在重复频率高达1000Hz时产生均匀的高效率放电，开关抖动小于2nS标准偏差。此外，这种激光效率的提高大大减少了沉积在放电中的能量浪费，从而降低了电磁干扰，大大减少了电极和元件的磨损。这也增加了整个中功率准分子激光器系统的使用寿命，并允许以zui高重复率进行风冷操作。

中功率准分子激光器具有主动热稳定特性。这使得激光器能够长期工作，具有优异的指向稳定性，优于20urad/℃。

中功率准分子激光器优点

　　?易于使用的一体式紧凑结构

　　?内部真空泵和卤素过滤器

　　?计算机控制

　　?高脉冲稳定度

　　?超长气体寿命

　　?zui新的全金属/陶瓷技术

　　?高稳定性电晕预电离

　　?10亿脉冲寿命

　　?70mJ/100Hz TEA二氧化碳版

中功率准分子激光器应用

　　?替代医用激光器

　　?电离源

　　?紫外激光微加工

　　?精密激光打标

　　?屈光手术

　　?拉曼光谱

中功率准分子激光器规格参数

　　工作物质 ArF KrF eCl eF

　　波长nm 51

　　zui大能量mJ 6 10 8 6

　　峰值功率MW 0.85 1.43 1.14 0.85

　　平均功率W@300Hz 1.8 3 2.4 1.8

　　动态气体寿命 12E6 18E6 20E6 15E6

　　50%能量

　　静态气体寿命 15天 30天 >3个月 30天

　　重复频率 300Hz

　　脉宽ns 6-8ns

　　光束尺寸 6 x 3 mm V x H

　　稳定性 <3%标准偏差

　　光束发散角 2 x 1 mRad V x H

　　冷却 空气

　　激光管寿命 20亿脉冲

　　电源要求 120 VAC, 5 Amp, 600 W

　　重量 8kg

　　尺寸 13英寸x 7英寸x 7英寸