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| 品牌 |
辅光精密仪器（上海）有限公司 |
型号 |
FPMAR-SR-7012 |
| 货号 |
FPMAR-SR-7012 |
材质 |
铝合金 |
大孔径压电旋转台是采用压电旋转台技术的压电旋转位移台,采用压电电机驱动可实现360度无限旋转。
网页上的价格是参考价格，未必准确，准确的价格信息请联系我们索取。
大孔径压电旋转台SR-7012集成光学编码器确保zui高闭环定位分辨率（低于1μrad）和zui高重复精度（高达5μrad）。
我们为用户提供几种标准压电旋转定位台方便用户选择,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有压电旋转定位台都可以根据用户需求定制.
大孔径压电旋转台规格参数
| 型号 | SR-7012 | SR-7021 | SR-12012 |
| 口径 | ? 30 mm | ? 25 mm | ? 82 mm |
| S闭环传感器分辨率 | 15μ° | 15 μ° | 5 μ° |
| 角度分辨率 | < 0.5 μ° | < 0.5 μ° | < 1 μ° |
| 扫描范围 | >2.5 m° | > 3.1 m° | > 4 m° |
| 行程范围 | ∞ | ∞ | ∞ |
| 定位台尺寸 | 70 x 70 x 12 mm3 | 90 x 90 x 21 mm3 | 120 x 120 x 12 mm3 |
| 负载 | 25N(2.5Kg) | 25N(2.5Kg) | 20N(2Kg) |
| 适合zui大真空度 | 10-11 mbar | 10-11mbar | 10-6mbar |
| 角速度 | 9度/秒 | 9度/秒 | 10度/秒 |
| 步进 | 0.2 – 2.0 m° | 0.2 – 2.0 m° | 0.3 – 1.5 m° |
| zui大频率 | 18.5KHZ | 18.5KHZ | 18.5KHZ |
| 阻尼力Mb | 10N cm | 10N cm | 15N cm |
| zui大正向力Fn | 25N | 25N | 20N |
| 旋转台尺寸 | ? 60 mm | ? 70 mm | ? 110 mm |
| 重量 | 100g | 400g | 320g |
大孔径压电旋转台应用案例
大孔径压电旋转台搭建的3D晶圆定位系统（4英寸晶圆）
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