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| 型号 |
SR-1908 |
加工定制 |
是 |
| 功能 |
位置伺服 |
驱动元件类型 |
机电 |
| 控制方式 |
闭环 |
产地 |
www.felles.cn/zhuantai1.html |
| 厂家 |
www.felles.cn/zhuantai1.html |
|
压电旋转定位台SR-1908是采用压电旋转台技术的压电旋转定位Qi,采用压电电机驱动可实现360度无限旋转。
(上述价格不一定准确,请您联系我们获得准确报价)
压电旋转定位台SR-1908集成光学编码器确保zui高闭环定位分辨率(低于1μrad)和zui高重复精度(高达5μrad)。
我们为用户提供几种标准压电旋转定位台方便用户选择,例如非磁性材料和超高真空(UHV)兼容性等,此外所有压电旋转定位台都可以根据用户需求定制.

网页上的价格是参考价格,未必准确,准确的价格信息请联系我们索取。
压电旋转定位台规格参数
| 型号 | SR-1908 | SR-2013 | SR-2812 |
| 口径 | 7mm | - | 9mm |
| S闭环传感器分辨率 | - | 25 μ° | 25 μ° |
| 角度分辨率 | < 300 μ° | <2 μ° | <1 μ° |
| 定位台尺寸 | 24.7 x 20 x 8.5 mm3 | 25.5 x 20 x 10.2 mm3 | 37.5 x 30 x 12 mm3 |
| 负载 | 5N(500g) | 3N(300g) | 3N(300g) |
| 适合zui大真空度 | 10-6 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
| 角速度 | 45度/秒 | 45度/秒 | 25度/秒 |
| 步进 | 0.3 – 3.0 m° | 0.3 – 3.0 m° | 0.3 – 3.0 m° |
| zui大频率 | 18.5KHZ | 18.5KHZ | 18.5KHZ |
| 阻尼力Mb | 0.5N cm | 0.5N cm | 3N.cm |
| zui大正向力Fn | 5N | 3N | 3N |
| 旋转台尺寸 | ? 19 mm | ? 15 mm | ? 28 mm |
| 重量 | 13g | 11g | 35g |
压电旋转定位台SR-1908材料和真空选项钢底座(-ST)硬端止动块,样品短管支架-真空(10-6m Bar)
压电旋转定位台应用案例

压电旋转定位台搭建的3D晶圆定位系统(4英寸晶圆)